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Methods of controlling grooves profile and the duty cycle of gold transmission phase gratings
  • 所属机构名称:中国科学技术大学
  • 会议名称:Holography and Diffractive Optics III
  • 成果类型:会议
  • 会场:Beijing, China
  • 相关项目:高分辨软X光透射光栅制备技术研究
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