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Investigation on ion energy distribution function in a capacitively coupled argon discharge
  • 所属机构名称：清华大学
  • 会议名称：The 9th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology and 21st Symposium on Plasma Scienc
  • 成果类型：会议
  • 会场：安徽黄山市
  • 相关项目：高频电负性容性耦合等离子体的研究
作者： Zhang Shu|Chen Wen-Cong|Pu Yi-Kang|Zhu Xi-Ming|
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