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Texture and Electric Properties of BN Films Deposited on Different Electrodes by RF Magnetron Sputte
  • 所属机构名称：天津理工大学
  • 会议名称：ECS Transactions 2012
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：高频、高Q值、高稳定性SAW谐振器多层膜材料研究
作者： Wang Fang|Yang Bao-he|Zhao Jin-shi|Hao Yin-zhao|Zhang Kai-liang|
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