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Temperature uniformity control in the low pressure process champer of the IC equipment
  • 所属机构名称：清华大学
  • 会议名称：2nd International Conference on Materials and Products Manufacturing Technology, ICMPMT 2012
  • 时间：2013.12.12
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：基于变Knudsen数气流3维模拟的低压腔室多目标优化设计方法研究
作者： Huang, Hui|Yang, Tieniu|Li, Changming|Zhang, Qili|Huang, Zundi|
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