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Immersed Nanospheres Super-Lithography for the Fabrication of Sub-70nm Nanoholes with Period Below 7
  • 所属机构名称：四川大学
  • 会议名称：12th IEEE International Conference on Nanotechnology (IEEE-NANO)
  • 时间：2012
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：一种OLED彩色滤波器超分辨纳米孔阵列光刻技术
作者： Li, Shuhong|Shi, Lifang|Yang, Zheng|Huang, Xia|Zhang, Zhiyou|Gao, Fuhua|Guo, Yongkang|Yu, Weixing|Du, Jinglei|
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