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石墨烯二维材料与第三代半导体氮化物材料低成本薄膜化制备技术
  • 所属机构名称：中国科学院半导体研究所
  • 会议名称：2015年第十三届国际真空展览会真空学术论坛
  • 时间：2015.5.6
  • 成果类型：会议
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