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Improved the Surface Roughness of Silicon Nanophotonic Devices by Thermal Oxidation Method
  • 所属机构名称:华中科技大学
  • 会议名称:3rd International Photonics & OptoElectronics Meetings (POEM 2010)
  • 成果类型:会议
  • 会场:Wu Han
  • 相关项目:基于表面等离子体局域增强效应的纳米晶硅微盘发光机制研究
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