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Preparation and Properties of ZnO:Mo Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering
  • 所属机构名称:中国科学院上海技术物理研究所
  • 会议名称:7th International Conference on Thin Film Physics and Applications
  • 时间:2011
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:化学溶液法制备低成本铜铟镓硒薄膜的成膜机理研究及太阳电池制备
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