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A compensation method of abrasive surface error based on the piezoelectric feed
所属机构名称:南京航空航天大学
会议名称:11th China International Nanoscience and Technology Symposium, CINST 2012
时间:2013
成果类型:会议
相关项目:压电进给和面型补偿的纳米精度曲面弹性波剔除理论及方法
作者:
Wu, Fei|Chen, Xiaojian|Jin, Jiamei|
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