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A new 3-D assembly approach For nanoelectromechanical switch fabrication
  • 所属机构名称：哈尔滨工业大学
  • 会议名称：Proceedings of 2012 International Conference on Mechanical Engineering and Material Science (MEMS 20
  • 时间：2012.11.2
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：原子力显微镜非接触式谐振扫描高速成像方法与技术研究
作者： Chen Yang|Hui Xie|Jihong Yan|Jie Zhao|
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