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Temperature Characteristics of Polysilicon Piezoresistive Nanofilm Depending on Film Structure
  • 所属机构名称:哈尔滨工业大学
  • 会议名称:2nd IEEE International Nanoelectronics Conference
  • 成果类型:会议
  • 会场:Shanghai, PEOPLES R CHINA
  • 相关项目:多晶硅纳米膜压阻式压力传感器研究
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