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Temperature Characteristics of Polysilicon Piezoresistive Nanofilm Depending on Film Structure
所属机构名称:哈尔滨工业大学
会议名称:2nd IEEE International Nanoelectronics Conference
成果类型:会议
会场:Shanghai, PEOPLES R CHINA
相关项目:多晶硅纳米膜压阻式压力传感器研究
作者:
Chuai, Rongyan|Shi, Changzhi|Wu, Yajing|Li, Jinfeng|Chen, Weiping|Liu, Xiaowei|
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