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Fabrication of z-axis accelerometer with galvanic etch stop and antifuse isolation
  • 所属机构名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 会议名称：11th IEEE Conference on Sensors(IEEE Sensors 2013 Conference)
  • 时间：2013.11.11
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：稀薄空气热压膜阻尼理论与实验研究
作者： Xiang Jiang|Heng Yang|Yanhong Wu|Xinxin Li|Yuelin Wang|
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