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氯化等离子体刻蚀得到的金刚石纳米机构
  • 所属机构名称：香港城市大学深圳研究院
  • 会议名称：The 68th IUVST Workshop: Multifunctional Surface Engineering for Advanced Energy Applications
  • 时间：2012.12.11
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：外延立方氮化硼薄膜的掺杂及高温半导体特性研究
作者： 何斌|袁牧峰|杨扬|张文军|
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