Design of a compliant XY stage with embedded force sensor for micro-scale positioning
- 所属机构名称:中国科学院合肥物质科学研究院
- 会议名称:2010 IEEE International Conference on Information and Automation, ICIA 2010
- 成果类型:会议
- 会场:Harbin, Heilongjiang, China
- 相关项目:一种具有柔性的机器双足传感与控制方法研究