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Design of a compliant XY stage with embedded force sensor for micro-scale positioning
  • 所属机构名称:中国科学院合肥物质科学研究院
  • 会议名称:2010 IEEE International Conference on Information and Automation, ICIA 2010
  • 成果类型:会议
  • 会场:Harbin, Heilongjiang, China
  • 相关项目:一种具有柔性的机器双足传感与控制方法研究
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