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In离子选择注入GaAs(001)衬底
  • 所属机构名称:中国科学院半导体研究所
  • 会议名称:第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议,2006年11月4-11日,广西北海。 本论文收录在《第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议论文集》93-96页。
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:隧穿注入量子点激光器
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