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光学和电子束曝光系统之间的匹配
  • 所属机构名称：中国科学院半导体研究所
  • 会议名称：国内会议，口头报告，第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术会议（IC&SI-2005）， 2005年11月，广东珠海
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：半导体纳米材料的可控、有序生长
作者： 陈宝钦*，刘明，徐秋霞，薛丽君
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半导体纳米材料的可控、有序生长
期刊论文 45 会议论文 19 著作 5
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