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Fabrication of p-type zinc oxide thin films by plasma immersion ion implantation

所属机构名称：复旦大学
会议名称：3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Appications for Nitrides and Nanomate
成果类型：会议
相关项目：等离子体浸没离子注入制备P型ZnO薄膜材料的研究

作者： Rongqing Liang|

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