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Investigation on micromachining technology compatibility of PECVD SiO 2 /Si 3 N 4 double-layer elect
  • 所属机构名称：北京大学
  • 会议名称：Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2008. NEMS 2008. 3rd IEEE International Conference on
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：MEMS可调滤波器基础研究
作者： Jin Liu|Jinwen Zhang|Zhiqiu Lv|
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期刊论文 4 会议论文 4
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