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Investigations of ion transport in collisional dual rf-biased sheaths and ion energy distributions b
  • 所属机构名称：大连理工大学
  • 会议名称：8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology, Australia, 2006
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：双频电容耦合放电等离子体流体动力学数值模拟
作者： 戴忠玲|
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