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A 19 element hexagonal actuator arrangement continuous face-sheet MEMS deformable mirror
  • 所属机构名称：中国科学院光电技术研究所
  • 会议名称：13th Annual Conference of Chinese Society of Micro-Nano Technology, CSMNT 2011
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：自适应光学系统中MEMS变形镜的空间和时间特性研究
作者： Wang, Weimin1, 2, 3|Tao, Fenggang1, 3|Zhang, Jianfei1, 3|Yao, Jun1|
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