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Effect of a thin Cr layer on the microstructures and fracture behaviours of copper films
  • 所属机构名称:西安交通大学
  • 会议名称:2nd International Conference on Manufacturing Science and Engineering, ICMSE 2011
  • 成果类型:会议
  • 会场:Guilin
  • 相关项目:超薄梯度Zr/ZrN自形成扩散阻挡层特性研究
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