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An Electrostatic Repulsive-Force Based Capacitive RF MEMS Switch
  • 所属机构名称：太原理工大学
  • 会议名称：IEEE-NANO 2015
  • 时间：2015.8.1
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：电容式RF MEMS开关介质中电荷积累机理及其消除方法的研究
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