Effect of laser fluence on sacrificial layer morphology in laser rear-side ablation of film
- 所属机构名称:西安交通大学
- 会议名称:5th International Photonics and Optoelectronics Meetings (POEM) - Laser and Terahertz Science and
- 时间:2012.11.2
- 成果类型:会议
- 相关项目:基于材料定域生长和薄膜断裂机理的大面积纳米缝电极并行制造技术研究