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氧化法制备SiGe弛豫缓冲层及其表征
  • 所属机构名称：厦门大学
  • 会议名称：第十六届全国半导体物理学术会议
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：SOI基高速、窄谱带响应长波长Ge光电探测器研究
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