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Formation of ultra-shallow junctions with pre-amorphization implant and microwave annealing
  • 所属机构名称：复旦大学
  • 会议名称：2013 13th International Workshop on Junction Technology, IWJT 2013
  • 时间：2013
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：超薄可控金属硅化物的形成工艺及机理研究
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超薄可控金属硅化物的形成工艺及机理研究
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