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Residual stress characterization of GaN microstructures using bent-beam strain sensors
  • 所属机构名称：北京大学
  • 会议名称：5th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2010
  • 成果类型：会议
  • 会场：Xiamen
  • 相关项目：硅衬底上氮化镓基MEMS工艺基础研究
作者： Cai,Y.|Lv,J.|Zhang,B.|Yan,G.|Yang,Z.|Chen,K.J.|
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