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Adaptive Flying Height Control Based on a Hybrid Actuator System
  • 所属机构名称:上海大学
  • 会议名称:The 13th IEEE international conference on nanotechnology
  • 时间:2013.8.8
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:近场高密度光存储系统中微机构的碰振机理和控制方法
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