位置：成果数据库 > 会议 > 会议详情页
Young’s modulus detection of low-k film by laser-generated surface acoustic waves with improved matc
  • 所属机构名称：天津大学
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：表面波无损表征ULSI铜与低介电常数介质布线薄膜机械特性与粘附性的研究
同会议论文项目
表面波无损表征ULSI铜与低介电常数介质布线薄膜机械特性与粘附性的研究
期刊论文 11 会议论文 5
同项目会议论文
Finite Element Analysis of Harmonic Frequency for 2.4GHz SAW Tags
Mechanical characterization of patterned thin films of the ULSI interconnect by surface acoustic wav
Young’s Modulus Evaluation by SAWs for Porous Silica Low-k film with Cesium doping
Young’s modulus detection for the low-k film by laser-generated SAWs