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A full wafer-scale UV nanoimprint lithography process and tool for patterning photonic crystal for H
  • 所属机构名称：山东大学
  • 会议名称：BIT’s 1st Annual World Congress of Nano-S&T
  • 时间：2011.10.10
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：大面积、高度均匀有序量子点阵列制造及其在量子点激光器中的应用
作者： Hongbo Lan|
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