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A Novel Pull-in Accelerometer
  • 所属机构名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：悬臂梁-质量块结构吸合时间式加速度传感器研究
作者： 杨恒*，俞正寅，李昕欣，王跃林
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