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用于激励微波等离子体的微带环形
  • 所属机构名称：华东师范大学
  • 会议名称：国内会议，口头报告，2005年全国微波毫米波会议, 2006年2月，广东深圳。
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：基于微系统的小功率微波等离子体源的研究
作者： 张少君、廖斌
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