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Effect of wet etching parameter on the diameter and length of silicon nanowires
  • 所属机构名称:西北工业大学
  • 会议名称:12th Annual Conference of the Chinese Society of Micro-Nano Technology, CSMNT and 2nd International
  • 时间:2011
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:防冰微纳复合结构研究
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