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Simulation of surface deformation for the lithographic object lens by Zernike polynomials
  • 所属机构名称:电子科技大学
  • 会议名称:6th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies: Optical Test
  • 时间:2012
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:多壁碳纳米管传感器的自组装研究
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