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不同溅射气压对β-FeSi2形成的影响
  • 所属机构名称：贵州大学
  • 会议名称：第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛
  • 成果类型：会议
  • 会场：中国武汉
  • 相关项目：环境半导体材料β-FeSi2的物理基础与关键技术研究
作者： 杨吟野|任学勇|张晋敏|谢泉|肖清泉|梁艳|曾武贤|
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环境半导体材料β-FeSi2的物理基础与关键技术研究
期刊论文 35 会议论文 7
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