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A 19 element segmented MEMS deformable mirror based on electrostatic repulsive-force actuator
  • 所属机构名称：电子科技大学
  • 会议名称：MEMS Adaptive Optics VII
  • 时间：2013
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：多壁碳纳米管传感器的自组装研究
作者： Wang, Weimin|Tao, Fenggang|Wang, Qiang|Qiu, Chuankai|Chen, Zexiang|Yao, Jun|
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