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Ruthenium and Copper CMP in Periodate-based Slurry with BTA and K2MoO4 as Compound Corrosion Inhibi
  • 所属机构名称：清华大学
  • 会议名称：2014 International Conference on Planarization/CMP Technology
  • 时间：2014
  • 成果类型：会议
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