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Research on middle and high spatial-frequency errors by discrete particles abrasion
  • 所属机构名称：中国科学院光电技术研究所
  • 会议名称：5th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies - Advanced Op
  • 成果类型：会议
  • 会场：Dalian, PEOPLES R CHINA
  • 相关项目：光学抛光加工中的中高频面形误差形成机理研究
作者： Shi, C. Y.|Yuan, J. H.|Wan, Y. J.|Wu, F.|
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