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Micromachined PMN-PT single crystal diaphragm for piezoelectric sensing applications
  • 所属机构名称：深圳大学
  • 会议名称：Proceedings - 2011 4th International Conference on Biomedical Engineering and Informatics, BMEI 2011
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：基于超薄单晶的医用压电式微加工超声换能器pMUT的研究
作者： J. Peng*, XY. Zhang, G. Dan, TF. Wang, SP. Chen|
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