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Microfabricated SOI pressure sensor using dynamically balanced lateral resonator
  • 所属机构名称：西北工业大学
  • 会议名称：9th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, IEEE-NEMS 2014
  • 时间：2014
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：面向虚拟气动外形控制的微型合成射流器阵列技术
作者： Ren, Sen|Yuan, Weizheng|Sun, Xiaodong|Deng, Jinjun|Qiao, Dayong|Jiang, Chengyu|
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