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HfO2 / SiO2 Composite-layer One-Time Programmable Memory Cell Prepared by Atomic Layer Deposition
  • 所属机构名称：复旦大学
  • 会议名称：International Conference on ALD 2012
  • 时间：2012.6.17
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：隧穿场效应晶体管在存储器应用中的探索与研究
作者： Xiao-Yong Liu|Peng-Fei Wang|Qing-Qing Sun|David Wei Zhang|
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