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A novel 2-dimensional electric field sensor based on in-plane micro rotary actuator
  • 所属机构名称：中国科学院电子学研究所
  • 会议名称：IEEE Sensors 2014
  • 时间：2014.11.2
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：单片集成旋转谐振式微型三维电场传感器研究
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