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Study on Nonlinear Plasma Dynamics in Electron Heating of Asymmetric Capacitive Discharges with a Ti
  • 所属机构名称：大连理工大学
  • 会议名称：63rd Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：反应离子刻蚀微观不均匀性的跨尺度研究
作者： Z. L. Dai|G. Yue|Y. N. Wang|
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期刊论文 13 会议论文 5
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