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Uprightness multilevel microbridge structures in a standard CMOS technology for studying the near-fi
  • 所属机构名称：大连理工大学
  • 会议名称：5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology, APCOT2010
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：自对准双层薄膜量热计的研究
作者： Yu Jun| Wang JiaQi|Tang ZhenAn|Feng Chong|
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