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纳米钨膜硬度、残余应力及电阻率
  • 所属机构名称：西安交通大学
  • 会议名称：中国科协第四届优秀博士生学术年会，2006，西安
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：基于小波分析的表面形态表征及其与薄膜体特征参量的关系
作者： 孙浩亮 徐可为
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