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The effect of RIE-modified surface contamination on optical performance of fused silica
  • 所属机构名称:中国工程物理研究院激光聚变研究中心
  • 会议名称:Pacific Rim Laser Damage 2013: Optical Materials for High Power Lasers
  • 时间:2013
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:富氧条件下熔石英表面氧空位的紫外激光修复机理研究
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