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Dynamic analysis of an XY positioning table
  • 所属机构名称:天津大学
  • 会议名称:2013 International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale, 3M-NA
  • 时间:2013
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:音圈电机直驱的柔性解耦定位系统动力学特性与控制方法
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