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Study on nitridation of silicon added with amorphous silicon nitride
  • 所属机构名称:北京科技大学
  • 会议名称:ASME 2011 International Mechanical Engineering Congress and Exposition, IMECE 2011
  • 时间:2011
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:振动与气流共同作用下的双组分颗粒分布特性研究
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