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In situ Long Trace Profiler for measurement of Wolter type-I mirror
  • 所属机构名称:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  • 会议名称:Conference on Advances in Metrology for X-Ray and EUV Optics III
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:空间软X射线-极紫外波段复合型望远镜技术研究
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