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基于光MEMS技术的集成光波导傅立叶变换光谱仪研究
  • 所属机构名称:中国科学院电子学研究所
  • 会议名称:第三届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
  • 时间:2010.11.11
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:集成光波导傅里叶变换微光谱仪研究
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