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Deep trench refilling with parylene C for high-quality isolation in bulk micromachined devices
  • 所属机构名称：北京大学
  • 会议名称：2008 ASME 2nd International Conference on Integration and Commerciauzation of Micro and Nanosystems,
  • 成果类型：会议
  • 会场：Kowloon, Hong kong
  • 相关项目：集成样品预处理过程的微型核酸诊断芯片系统基础研究
作者： Lei, Yinhua|Yu, Huaiqiang|Zhang, Haixia|Li, Ting|Li, Zhihong|Wang, Wei|Jin, Yufeng|
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